Mesure des micro-déplacements dans le plan

Le nouveau système MYCSYS de MITUTOYO permet la mesure de déplacements dans le plan en visant perpendiculairement à ce plan.
Caractéristiques :
-Mesures de deux déplacements par corrélation
-Mesures simultanées des deux directions perpendiculaires X et Y
-Résolution de 1 nanomètre
-Alignement simple

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Principe

Une diode laser illumine la surface visée et renvoie par réflexion une image appelée
« speckle » vers un récepteur. Lorsque la surface visée se déplace en X ou en Y, ce
« speckle » se déplace et le récepteur enregistre ces déplacements.

Caractéristiques :

Modèle MICSYS –SA1
Méthode de mesure corrélation du speckle
Résolution 1nm
Etendues de mesure +/-100μm
Fréquence des mesures 30Hz
Alimentation 220 VAC
Diode laser à 650nm

Application :